تحلیل رفتار استاتیکی میکرو تیر میکرو الکترو مکانیکی با معرفی حسگر سرعت زاويه‌اي براي كاربردهاي قطع اضطراري

هادی عظیم لو¹ قادر رضازاده² مهرداد شیخلو³ رسول شعبانی⁴

1) دانشجوی دکترای مهندسی مکانیک-طراحی کاربردی، دانشگاه ارومیه ، ایران
2) استاد گروه مهندسی مکانیک، دانشکده فنی و مهندسی- دانشگاه ارومیه، ایران
3) استادیار گروه علوم مهندسی، دانشکده فناوری های نوین، دانشگاه فناوری های نوین سبلان، نمین
4) استاد گروه مهندسی مکانیک، دانشکده فنی و مهندسی- دانشگاه ارومیه،

محل انتشار : دومین کنگره بین المللی علوم، مهندسی و تکنولوژی - هامبورگ(germanconf.com/2nd)
چکیده :
در این تحقیق طراحی و معرفي يك میکرو حسگر سرعت زاويه‌اي و بررسی رفتار استاتیکی آن مورد بررسی قرار می گیرد که در آن میکرو تیر دو سر گیر دار، در معرض تحريك نيروي الكترواستاتيك و گريز از مركز مي‌باشد. معادلات حرکت حاکم بر این مسئله بر اساس فرض تير اویلر برنولی به دست می آید. برای حل استاتيكي این معادلات با استفاده از روش خطي سازي گام به گام حل می شود، سپس با استفاده از روش کاهش مرتبه گلرکین این معادلات خطي شده حل می گردند. به علاوه، ولتاژ ناپايدار استاتيكي براي سرعت‌هاي زاويه‌اي مختلف و سرعت زاويه‌اي ناپايدار به ازاي ولتاژهاي باياس مختلف محاسبه می شود. با تعریف تغییر ظرفیت خازن به عنوان پارامتر حساسیت حسگر اثر تغییرات هندسی بر عملکرد ان بررسی می شود.
کلمات کلیدی : رفتار استاتیکی ولتاژ ناپایداری تحریک الکترواستاتیک سرعت زاویه ای نیروی گریز از مرکز