بررسی ولتاژ های ناپایداری کششی استاتیکی (Pull in) و دینامیکی ميكروتيرهای در معرض حرارت
بررسی ولتاژ های ناپایداری کششی استاتیکی (Pull in) و دینامیکی ميكروتيرهای در معرض حرارت
امیر میرزائی1
1) دانشجوی دکترای مکانیک ، گرایش طراحی کاربردی
محل انتشار :
دهمین کنفرانس بین المللی مکانیک، ساخت، صنایع و مهندسی عمران(mmiconf.com)
چکیده :
تکنولوژی میکروالکترومکانیکی ، سیستم‌های بسیار کوچک در اندازه میکرومتر هستند. این سیستم ها فناوری بسیار بالایی دارند که در ساختار کلی آنها ، اطلاعات از طریق میکرو سنسورها ، توسط میکروکنترلرها ، دریافت و پردازش شده و فرامینی براساس محاسبات برنامه نویسی شده به میکرو محرک‌ها به منظور عملیات مکانیکی مورد نظر ارسال می گردد. سيستم هاي ميكرو الكترومكانيكي عمومأ از دو قسمت اصلی مكانيكي و الكترونيكي تشكيل مي شوند. بخش مكانيكي براي دریافت يك كميت از محيط پیرامون (تغيير سرعت زاويه اي و...) يا به عنوان عملگر مانند بستن يا باز كردن يك ميكروشير مورد استفاده قرار می گیرد. و قسمت الكترونيكي براي تبديل سيگنال های مكانيكي به جریان الكترونیكي و پردازش آن مورد استفاده قرار مي گيرد. اين حقیقت كه سيستم هاي الكترومكانيكي می توانند با استفاده از تكنيك هاي ساخت موجود در صنعت نيمه هادي ها ساخته شوند به اين معني است كه آنها مي توانند با قيمت پايين و حجم تجاري زياد توليد شوند ،كه اين موجب جذابيت تجاري اين سيستم ها مي شود. امروزه در کشور های پیشرفته جهان ، فناوری سیستم های مکانیکی و الکترونیکی در ابعاد بسیار کوچک مورد توجه است، چرا که این بخش مهم علمی ، موجب افزایش سرعت و کم شدن حجم ابعاد صنایع در کاربرد‌های مختلف صنعتی و عمومی می‌شود. شبيه سازي، طراحي و ساخت آنها همواره بعنوان زمينه هاي علم نوين در علوم مهندسي مطرح بوده است. هم اکنون حسگرها و عملگرهايي كه با استفاده از صنعت سيستم هاي ميكروالكترومكانيكي ساخته مي شوند ، به عنوان دستگاه هايي با كيفيت مطلوب و قيمت پایین مورد توجه قرار مي گيرند.
کلمات کلیدی :
میکروالکترومکانیکی – میکروسنسور – میکرو کنترلر – میکرو محرک