بررسي كاربردهاي RF MEMS و پارامترهای موثر در ساخت آنها

حجت الله مقدسی¹

1) کارشناسی ارشد مهندسی برق الکترونیک اجزاء دقیق، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران

محل انتشار : دومین کنفرانس بین المللی پیشرفت های اخیر در مهندسی، نوآوری و تکنولوژی - بلژیک(eitconf.com)
چکیده :
پیشرفت تکنولوژی‌های ساخت، کلید موفقیت‌ در تولید قطعات RF MEMS جدید است. دو دیدگاه در ساخت قطعات MEMS بر پایه سیلیکون وجود دارد: میکروماشین‌کاری حجم و میکروماشین‌کاری سطح. هر دوی این دیدگاه‌ها می‌توانند در زمینه‌های مختلفی در سیستم‌های میکروویو و موج میلیمتری استفاده شوند. جدا از تکنولوژی‌های بر پایه سیلیکون، MEMSهای بر پایه‌ پلیمر نیز پیشنهاد می‌شوند. یکی از استفاده‌های جدید تکنولوژی MEMS در کاربردهای میکروویو، در حوزه محرک‌های میکروماشین‌کاری شده سطحی برای درک سوئیچ‌های میکروویو با خاصیت خطی بالا، مصرف توان آماده به‌کار پایین و تلفات جاسازی کم است. استفاده دیگر از تکنولوژی MEMS در کاربردهای RF در حوزه میکرو سلف‌ها و خازن‌های متغیر، به‌عنوان جایگزینی برای دیودهای ورکتور به‌کار رفته برای تنظیم مدارات است. مزیت مهم خازن‌های میکروماشین‌کاری شده، سازگاری آن‌‌ها با مدارات دیگر است که اجازه ساخت سیستم‌های تمام مجتمع¬شده را می‌دهد. تحقیق و توسعه درمورد قطعات RF MEMS سال‌هاست که در حال انجام است. قطعات زیادی در حجم کم در کاربردهای تجاری و نظامی به صورت غیر رایج استفاده می‌شود، اما امروزه این قطعات در حجم بالایی تولید می‌شوند. حال و آینده قطعات RF MEMS قابل رقابت با خیلی از ابزارات مرسوم از نظر حجمی، وزنی، قیمتی و کارایی است. بزرگترین بازار بالقوه مربوط به بازار تلفن‌های همراه، با فروش صدها میلیون دستگاه در سال است. بازار دیگر قطعات پرتابل الکترونیکی، که در آن ملاحظات قبلی در نظر گرفته شده است، دستگاه‌های تلفن بیسیم خانگی، شبکه‌های بیسیم کامپیوتر، رادیوها و گیرنده‌های سیستم موقعیت‌یاب جهانی (GPS) هستند. ماهواره‌ها، هدایت‌گر موشک، رادار نظامی و تجهیزات آزمایشگاهی البته با حجم پایین‌تر فروش بالقوه از اهمیت بازاری دیگری برخوردارند.
کلمات کلیدی : سیستم های میکرو الکترمکانیکی ميكروماشين كاري حجمي ميكروماشين كاري سطحي مدارات مجتمع