بررسي فرآيند طراحي، بهينه سازي و ساخت شتاب سنج MEMS
بررسي فرآيند طراحي، بهينه سازي و ساخت شتاب سنج MEMS
حجت الله مقدسی1
1) کارشناسی ارشد مهندسی برق الکترونیک اجزاء دقیق، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، تهران
محل انتشار :
دومین کنفرانس بین المللی پیشرفت های اخیر در مهندسی، نوآوری و تکنولوژی - بلژیک(eitconf.com)
چکیده :
طراحي شتاب سنج، با در نظر گرفتن رابطه بين پارامترهاي هندسي شتاب سنج و پارامترهايي که مبين کارايي آن هستند ميسر خواهد شد. در ادامه روابطي که اين ارتباط را برقرار مي کنند ارائه مي شود نوع روش ساخت شتاب سنج به صورت روش حجمي انجام مي گيرد، بر اساس محدوديت ها و قابليت ها اين روش ساخت شتاب سنج هايي طراحي مي شوند. معيارهاي طراحي اين نوع شتاب سنج به دليل عدم وجود استاندارد دقيق کمي متفاوت بوده و با ارائه طرح هاي متنوع آزادي بيشتري براي تيم سازنده ايجاد مي شود تا بر حسب شرايط کاري يکي از فرآيندها را برگزينند به منظور امکان دقيق مطالعه شتاب سنج هاي طراحي شده و بررسي تأثيرات عوامل مختلف ساخت چهار نوع شتاب سنج طراحي شده است. اين شتاب سنج ها تنها در دو پارامتر هندسي با يکديگر تفاوت دارند. اين پارامترها شامل طول المانهاي فنري و تعداد آنها مي باشد در فرآيند شبيه سازي عوامل مولد نويز يکي از مهمترين بخش هاي طراحي هر حسگري مي باشد. پارامترهاي بسيار مهمي مثل وضوح و نسبت سيگنال به نويز (SNR) از جمله خواص مهم هر شتاب سنجي است که در مرحله تحليل و طراحي حسگر بررسي می شوند انواع جنبه هاي مختلف و اثرات خطا مورد بررسي قرار مي گيرند و فرآيند بهينه سازي، شبيه سازي، مراحل ساخت و همچنين متغيرهاي طراحي و محدوديت هاي موجود در فرآيند ساخت بررسی شده است.
کلمات کلیدی :
شتاب سنج میکروالکترومکانیکی
حسگر
روش ساخت میکروماشينکاري حجمی
آشکارساز خازنی