بررسی فشار سنج های خازنی MEMS و بهینه سازی آنها

زهرا اکبری جدیدی¹

1) دانشجوی کارشناسی ارشد، گروه برق، موسسه آموزش عالی و غیرانتفاعی پاسارگاد، شیراز، ایران،

محل انتشار : هشتمین کنفرانس بین المللی نوآوری و تحقیق در علوم مهندسی(https://www.icires.ir/)
چکیده :
سیستم میکروالکترومکانیکی (MEMS) در این عصر از صنعت بیش ترین نیاز را در بخش¬های مختلف اعم از صنعت، پزشکی، خودروسازی، هوافضا، صنایع و ابزارهایی که در زندگی روزمره از آن ها استفاده می کنیم مانند تلفن های همراه پیدا کرده است. از این رو می توان گفت پیشرفت در علم و سازه های سنسور فشار MEMS در واقع پیشرفت در بخش¬های مهم صنعتی، پزشکی و ... است . در این مقاله با بررسی سنسور های فشار خازنی MEMS و طراحی و آنالیز آن¬ها توسط نرم افزار COMSOL تلاشی برای بهینه سازی این نوع سنسور ها انجام شده است. با افزایش چند میکرومتری دیافراگم و تغییر جنس زیر لایه و ابعاد سنسور به افزایش ظرفیت و تحمل فشار تا چند صد مگاپاسگال پرداخته شده است.
کلمات کلیدی : سنسور سیستم فشار خازنی میکروالکترومکانیک